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用途特點：

本產(chǎn)烘箱品適用于半導(dǎo)體加工，LCD面板，PDP面板，觸摸屏等生產(chǎn)工藝。

技術(shù)特點： 

自動化操作系統(tǒng)滿足現(xiàn)場無人操作的需求，自動開關(guān)門系統(tǒng)完全融入工廠自動化系統(tǒng)中，根據(jù)遠程指令動作及反饋；

更加安全的烘箱，自動門狀態(tài)、動作聯(lián)鎖及多重保護措施，避免了系統(tǒng)間干涉出現(xiàn)；

烘箱采用雙門設(shè)計，自動門實現(xiàn)自動生產(chǎn)，手動門進行保養(yǎng)與應(yīng)急生產(chǎn)。腔體采用全不銹鋼鏡面，并且為整體式焊接工藝，保證了烘箱在運行時的腔體內(nèi)清潔和預(yù)防了產(chǎn)品表面的沾污；整體框架設(shè)計能與外部輸送設(shè)備機構(gòu)聯(lián)動，保證動作一致性。

過程控制：

烘箱加熱采用多段式程序控制，完全滿足現(xiàn)場各種工藝需求；

與工廠MES,CIM,EAP等配套軟件使用，可實現(xiàn)烘箱溫度監(jiān)控，產(chǎn)品運行參數(shù)管理與生產(chǎn)運行記錄。

設(shè)備特點：

可以提供各種標準和非標準腔體設(shè)計，包括溫度范圍，容量大小和烘箱形狀等；

溫度均勻度依照GBT30435-2013；

設(shè)備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標準

提供高性價比的烤箱性能。溫度均勻性、溫度穩(wěn)定性、溫升速率、溫度恢復(fù)時間等工藝條件；

滿足SECS/GEM標準的半導(dǎo)體封裝測試設(shè)備接口，工廠軟件可通過其SECS/GEM接口對烘箱進行全面控制和監(jiān)控；

提供相應(yīng)的檢測報告，烘箱溫度校正報告、烘箱噪音檢測、烘箱表面SGS檢測等；

配套完整的產(chǎn)品使用手冊及說明。

基本功能配置：

漏電保護器；

電磁門鎖；

加熱保險絲；

電源缺相保護；

超溫保護器；

低溫保護器；

加熱器防干燒保護；

馬達轉(zhuǎn)速檢測保護；

UPS；

壓縮空氣檢測；

N2流量檢測；

水流量檢測；

功能選配：

腔體氧含量在線檢測；

高低溫聯(lián)動檢測；

腔體壓力檢測；

自動排風閥；

廢氣沉淀回收裝置；

腔體空燒排污；

腔體內(nèi)除塵過濾網(wǎng)裝置；